填补国内空白：我国建成首套高精度圆度基准装置，圆度测量不确定度从 20nm 降至 6nm

中国计量科学研究院近日正式完成并交付了国内首套高精度圆度基准装置。

该装置的成功研制标志着中国在精密圆度测量领域取得了重大进展，整体技术实力已达到国际领先水平。

圆度作为几何量计量体系中的关键参数，其测量精度直接影响着精密主轴、高级光学元件和半导体芯片等高科技产品的性能及装配质量。

过去，中国在平面度等几何量计量方面虽有国家级基准，但圆度量值一直缺乏国家层面的溯源体系，这已成为制约高端装备自主研发和产业高质量发展的一个瓶颈。

此次新装置的建成填补了这一关键空白，将为航空航天、高端机床、先进光学和半导体制造等战略性产业提供可靠、精确的量值溯源支持。这不仅有助于完善国家几何量计量体系，也为建设制造强国和质量强国奠定了基础。

在技术方面，该装置整合了多项自主创新技术，攻克了高精度圆度评定、主轴误差分离和滤波一致性控制等国际性的技术难题。

装置采用了创新的圆度计算模型，该模型基于高精度圆度滤波和全面的数据应用，解决了标准半球分离后轮廓重建的稳定性问题。同时，中国自主研发的新型误差分离技术显著减少了主轴旋转误差，将圆度测量的误差不确定度从 20 纳米降低到 6 纳米，测量能力已达国际先进水平。这一成就意味着中国在掌握高精度圆度测量核心技术方面实现了自主可控，打破了长期以来被国外技术垄断的局面。